书籍简介:

微纳米制造技术广泛应用于大规模集成电路、微机械结构、微机电系统、传感器、驱动器、功能材料与涂层等，涉及电子、机械、光学、物理、化学、材料、生物等多种学科，是制造技术的融合交叉新领域。本书共分7章，内容涵盖了微机械加工、表面成膜、半导体加工、纳米制造和生物制造等，全面地讲述了微纳米加工的各种方法，每种工艺都按照由原理、工艺过程到应用特点的顺序论述，逻辑严谨、脉络清晰。本书文字通俗易懂、并配有大量的图解，有利于读者对各知识点的理解、掌握和运用；参考文献翔实，适于读者拓展阅读。

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书籍详细信息
书名	微纳米制造技术及应用站内查询相似图书
丛书名	21世纪先进制造技术丛书
	9787030457516 如需购买下载《微纳米制造技术及应用》pdf扫描版电子书或查询更多相关信息，请直接复制isbn,搜索即可全网搜索该ISBN
出版地	北京	出版单位	科学出版社
版次	1版	印次	1
定价(元)	98.0	语种	简体中文
尺寸	24 × 17	装帧	平装
页数	276	印数

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书籍信息归属:

微纳米制造技术及应用是科学出版社于2015.9出版的中图分类号为 TB303 的主题关于纳米技术的书籍。