基于原子力显微镜的纳米机械加工与检测技术

书籍简介:

本书介绍作者及其团队多年来在使用原子力显微镜的基础上，研究利用其探针作为加工工具，构建了一套三维微结构的纳米机械加工系统，以及用这套加工系统开展纳米加工实验与基础理论研究的成果，同时吸收了国内外在这方面的最新研究成果。主要内容包括绪论、纳米加工技术相关理论基础、原子力显微技术的基本原理及工作模式、采用原子力显微镜探针的纳米机械加工技术、加工工具的操作与调控、加工过程的建模与仿真、基于原子力显微镜探针的纳米加工技术的应用、未来展望等。

书籍规格:

书籍信息归属:

基于原子力显微镜的纳米机械加工与检测技术是哈尔滨工业大学出版社于2012.12出版的中图分类号为 TG5 的主题关于 原子力学－显微镜－应用－纳米材料－金属切削 ,原子力学－显微镜－应用－纳米材料－检测 的书籍。