半导体集成电路制造技术

书籍简介:

半导体集成电路发展到今天已经形成一个重大产业，本书主要讲述半导体集成电路产业的制造技术，既有基本原理和工艺技术的阐述，也有国内外近期发展状况介绍。根据半导体集成电路器件的基本原理和内部结构以及设计版图，通过半导体材料制备、化学清洗、薄膜淀积、n-p掺杂、微影光刻、金属化处理、封装与测试、生产集成与自动化等工艺整合，讲解集成电路产业技术。本书可作为大专院校微电子学和半导体专业本科生的教材，也可供有关专业工程技术人员阅读参考。

书籍规格:

书籍信息归属:

半导体集成电路制造技术是高等教育出版社于2006.05出版的中图分类号为 TN430.5 的主题关于 半导体集成电路－集成电路工艺－高等学校－教材 的书籍。