微电子计量测试技术

第一部分 基本概念

第1章 微电子计量测试的基本概念

1.1 微电子计量的基本概念

1.1.1 微电子计量的目的与任务

1.1.2 微电子计量的技术领域和地位

1.1.3 微电子计量的工作和研究范围

1.1.4 微电子计量的单位制

1.1.5 微电子计量的主要术语和名词

1.1.5.1 微电子器件

1.1.5.2 微电子器件参数

1.1.5.3 测试设备

1.1.5.4 (测试设备的)系统量

1.1.5.5 工程量

1.1.5.6 系统量和工程量的对应关系

1.1.5.7 内部参考源法

第一部分 基本概念

第1章 微电子计量测试的基本概念

1.1 微电子计量的基本概念

1.1.1 微电子计量的目的与任务

1.1.2 微电子计量的技术领域和地位

1.1.3 微电子计量的工作和研究范围

1.1.4 微电子计量的单位制

1.1.5 微电子计量的主要术语和名词

1.1.5.1 微电子器件

1.1.5.2 微电子器件参数

1.1.5.3 测试设备

1.1.5.4 (测试设备的)系统量

1.1.5.5 工程量

1.1.5.6 系统量和工程量的对应关系

1.1.5.7 内部参考源法

1.1.5.8 通道末端法

1.1.5.9 标准样片法

1.1.5.10 量值传递体系

1.1.5.11 测试设备量值的稳定性指标

1.2 微电子测试的基本概念

1.2.1 微电子测试的目的与任务

1.2.2 微电子测试的技术领域和地位

1.2.3 微电子测试的工作和研究范围

1.2.4 微电子测试的单位制

1.2.5 微电子测试的主要术语和名词

1.2.5.1 与微电子计量单位相同的名词

1.2.5.2 微电子测试

1.2.5.3 功能测试法

1.2.5.4 穷举法

1.2.5.5 基于输入向量的有限扩展法(状态穷举)

第二部分 微电子计量技术

第2章 微电子测试设备的计量技术

2.1 综述

2.2 微电子测试设备的计量检定技术

2.2.1 微电子测试设备的计量确认

2.2.2 微电子测试设备的溯源性规则

2.2.3 微电子测试设备的计量检定原理

2.2.4 微电子测试设备的计量检定方法

2.2.4.1 微电子测试设备的内部参考源检定法

2.2.4.2 微电子测试设备的通道末端检定法

2.2.4.3 微电子测试设备的标准样片检定法

2.2.4.4 微电子测试设备的内部参考源检定方法实例

2.2.5 设备计量的不确定度评定

2.2.5.1 影响因素分析

2.2.5.2 标准计量器具或装置固有的不确定度

2.2.5.3 环境条件引起的不确定度

2.2.5.4 人员素质引起的不确定度

2.2.5.5 测量方法和过程引入的不确定度

2.2.5.6 辅助硬件如夹具、引线等引起的不确定度

2.2.5.7 测量重复性引起的不确定度

2.2.5.8 设备计量的不确定度的合成

2.2.5.9 设备计量的不确定度评定实例

参考文献

第3章 微电子标准样片的制备、维护和应用技术

3.1 综述

3.2 微电子数字器件标准样片的制备技术

3.2.1 制备内容

3.2.2 制备方法

3.2.3 制备过程

3.2.3.1 原材料(器件类型)的确认

3.2.3.2 采购

3.2.3.3 临时标识

3.2.3.4 三温检测

3.2.3.5 老化(静态和动态老化)

3.2.3.6 检漏

3.2.3.7 常温终测

3.2.3.8 赋值参量的确定

3.2.3.9 赋值及稳定性验证

3.2.3.10 命名及包装(标识)

3.2.3.11 申请定级

3.2.3.12 定级鉴定

3.2.3.13 审批(发证书)

3.2.4 微电子标准样片的维护技术

3.2.4.1 微电子标准样片的维护

3.2.4.2 微电子标准样片的复验和周期检定

3.2.5 微电子标准样片的应用技术

3.2.5.1 应用规范

3.2.5.2 软件开发

3.2.5.3 辅助硬件开发及误差消除技术

3.2.5.4 消除辅助硬件误差实例

3.2.5.5 通道复用技术

3.2.5.6 通道冗余测量技术

3.2.5.7 通道变换技术

参考文献

第4章 微电子器件参数的计量检定技术

4.1 综述

4.2 微电子器件参数的计量检定技术

4.2.1 微电子器件参数的计量检定原理

4.2.1.1 输入低电流Iil的计量检定原理

4.2.1.2 输入高电流Iih的计量检定原理

4.2.1.3 输出高阻态时的高电平电流Iozh的计量检定原理

4.2.1.4 输出高阻态时的低电平电流Iozl的计量检定原理

4。2.1.5 电源电流Idd的计量检定原理

4.2.1.6 输出高电平Voh的计量检定原理

4.2.1.7 输出低电平Vol的计量检定原理

4.2.1.8 输入电容Ci的计量检定原理

4.2.1.9 输出电容Co的计量检定原理

4.2.1.10 数据延迟时间TD(Q)的计量检定原理

4.2.1.11 地址延迟时间TD的计量检定原理

4.2.2 微电子器件参数的计量检定依据

4.2.3 微电子器件参数的计量检定方法

4.2.3.1 当前存在的致命问题

4.2.3.2 解决方法

4.2.4 参数检定程序设计规范实例

4.2.4.1 目的和适用范围

4.2.4.2 引用文件

4.2.4.3 定义

4.2.4.4 职责

4.2.4.5 要求

4.2.4.6 记录

4.2.5 参数计量的不确定度评价

4.2.5.1 基础知识

4.2.5.2 AC参量的量值校准方法

4.2.5.3 不确定度评定／计算

参考文献

第三部分 微电子测试技术

第5章 微电子测试技术

5.1 综述

5.2 微电子测试技术

5.2.1 微电子器件的分类

5.2.1.1 按规模分类的方法

5.2.1.2 按用途分类的方法

5.2.1.3 按结构分类的方法

5.2.1.4 按功能分类的方法

5.2.2 微电子器件的参数

5.2.2.1 TTL器件参数

5.2.2.2 HTL器件参数

5.2.2.3 ECL器件参数

5.2.2.4 CMOS器件参数：

5.2.2.5 双极形随机存储器参数

5.2.2.6 MOS器件参数

5.2.2.7 微处理器及外围接口器件参数

5.2.2.8 运算放大器参数

5.2.2.9 线性放大器参数

5.2.2.10 稳压器参数

5.2.2.11 时基电路参数

5.2.2.12 模拟锁相环参数

5.2.2.13 数字锁相环参数

5.2.2.14 模拟乘法器参数

5.2.2.15 模拟开关参数

5.2.2.16 电压比较器参数

5.2.2.17 D／A转换器参数

5.2.2.18 A／D转换器参数

5.2.2.19 读出放大器参数

5.2.2.20 外围驱动器参数

5.2.2.21 磁芯存储器参数

5.2.2.22 显示驱动器参数

5.2.2.23 电平转换器参数

5.2.2.24 线电路参数

5.2.3 微电子器件的测试原理、技术和方法

5.2.3.1 功能测试

5.2.3.2 交流参数测试

5.2.3.3 直流参数测试

5.2.3.4 微电子器件参数的重要性分析

5.3 微电子测试的操作规范

5.3.1 微电子测试的人员要求

5.3.2 微电子测试设备的要求

5.3.3 微电子测试的环境要求

5.3.4 微电子测试的操作规程要求

5.3.5 微电子测试的记录和报告要求

参考文献

第6章 十大专用的测试技术

6.1 内建自测试

6.1.1 综述

6.1.2 器件级离线BIST的体系结构

6.1.3 BIST的功能和关键元素

6.1.4 BIST的测试过程

6.1.5 当前BIST的水平

6.2 Iddq参数测试

6.2.1 Iddq参数测试原理

6.2.2 Iddq参数测试集生成

6.2.3 Iddq参数测试方法

6.2.4 Iddq参数测试的将来

6.3 Iddt参数测试

6.3.1 Iddt参数测试的基本原理

6.3.2 Iddt参数测试的基本方法

6.3.3 进一步研究

6.3.3.1 CMOS电路电流成分

6.3.3.2 Iddt参数的特性分析

6.3.4 Iddt参数解析模型研究

6.3.4.1 橇杠电流解析模型

6.3.4.2 橇杠电流解析模型韵修正

6.4 存储器测试

6.4.1 存储器的分类

6.4.2 存储器的结构

6.4.3 存储器的故障模型

6.4.4 存储器的常见故障现象

6.4.5 测试图形及其作用

6.4.5.1 N类测试图形

6.4.5.2 N2类测试图形

6.4.5.3 N2／3类测试图形

6.4.6 存储器的测试技术

6.4.6.1 EPROM测试技术

6.4.6.2 静态RAM测试技术

6.4.6.3 动态RAM测试技术

6.4.7 存储器测试中存在的问题

6.5 微处理器测试

6.5.1 实装法

6.5.2 比较(测试)法

6.5.3 图形(测试)法

6.5.3.1 输入／输出(I／O)通道设置

6.5.3.2 时钟发生器(TG)设置和数据格式的设置

6.5.3.3 测试图形的编制和调试

6.5.3.4 交流参数测试

6.6 PLD芯片测试

6.6.1 ispLSI器件测试

6.6.2 对E2CMOS单元和编程通路的测试

6.6.3 对I／O单元和GLB，ORP的测试

6.6.4 具体实现

6.6.4.1 辅助硬件设计

6.6.4.2 程序设计

6.7 FPGA测试

6.7.1 FPGA器件资源

6.7.2 FPGA测试的特殊性

6.7.3 FPGA测试方法

6.7.3.1 FPGA测试方法之

……

第四部分 微电子测试设备

第五部分 微电子测试程序设计开发技术

《微电子计量测试技术》对微电子计量技术、微电子测试技术、微电子测试设备以及微电子测试程序设计，从概念到具体的技术细节，都作了系统的介绍，具有很好的实用价值。我相信，《微电子计量测试技术》对从事微电子计量测试的专业技术人员、相关的管理干部，以及相关专业的学生们都有很好的参考价值。

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