书籍简介:

本书主要介绍如何将MEMS与CMOS电路集成的方法和应用，包括CMOS MEMS的制备工艺、材料表征及其电路或系统的集成化技术，CMOS MEMS技术在惯性传感器、压力传感器、指纹传感器系统、化学传感器和RF器件及系统中的应用。

书籍目录:

1制造工艺

2材料表征

3单片集成惯性传感器

4CMOSMEMS声学器件

5CMOSRFMEMS

6CMOS压力传感器

7CMOS化学传感器

8生物测定CMOS电容式指纹传感器系统

9CMOS生化敏感系统

10CMOS热传感器

11电路和系统集成

内容摘要:

　　本书是目前国内外唯一叙述集成化MEMS的专著。主要介绍如何将MEMS与CMOS电路集成的方法和应用。内容包括CMOSMEMS的制备工艺、材料表征及其与电路或系统的集成化技术；CMOSMEMS技术在惯性传感器、压力传感器、指纹传感器系统、化学传感器、生化传感器、热传感器和RF器件及系统中的应用。本书适合于微电子技术、微机电系统(MEMS)技术、传感器技术、通讯技术等相关领域的高年级本科生、研究生和工程技术人员参考。　　本书是目前国内外唯一叙述集成化MEMS的专著。CMOS电路技术是当今微电子的主流技术，本书主要介绍如何将MEMS与CMOS电路集成的方法和应用。内容包括CMOSMEMS的制备工艺、材料表征及其与电路或系统的集成化技术；CMOSMEMS技术在惯性传感器、压力传感器、指纹传感器系统、化学传感器、生化传感器、热传感器和RF器件及系统中的应用。　　本书由国际上20余位知名专家撰写，内容丰富，参考文献全面。适合于微电子技术、微机电系统(MEMS)技术、传感器技术、通讯技术等相关领域的高年级本科生、研究生和工程技术人员参考。

书籍规格:

书籍详细信息
书名	CMOS MEMS技术与应用站内查询相似图书
丛书名	微纳系统系列丛书
	9787564107840 如需购买下载《CMOS MEMS技术与应用》pdf扫描版电子书或查询更多相关信息，请直接复制isbn,搜索即可全网搜索该ISBN
出版地	南京	出版单位	东南大学出版社
版次	1版	印次	1
定价(元)	78.0	语种	简体中文
尺寸	19	装帧	平装
页数		印数	2500

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书籍信息归属:

CMOS MEMS技术与应用是东南大学出版社于2007.06出版的中图分类号为 TM38 ,TN432 的主题关于互补MOS集成电路－微电机－电路设计的书籍。