书籍简介:

本书以集束型晶圆制造装备为研究对象，在全面分析其调度特点及调度方法的基础上，分析集束型装备各类调度问题，运用优化调度方法设计了相应的求解方案。本书提出的方法和技术将为广大企业、科研院所、高等院校进一步深入研究集束型晶圆制造装备调度问题提供理论基础，为推动集束型晶圆制造装备调度技术发展和企业实际应用提供参考，对提升我国晶圆制造企业的核心技术竞争力及行业综合实力具有重要意义。

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书籍详细信息
书名	集束型晶圆制造装备调度及其优化算法站内查询相似图书
	9787121312274 如需购买下载《集束型晶圆制造装备调度及其优化算法》pdf扫描版电子书或查询更多相关信息，请直接复制isbn,搜索即可全网搜索该ISBN
出版地	北京	出版单位	电子工业出版社
版次	1版	印次	1
定价(元)	59.0	语种	简体中文
尺寸	26 × 19	装帧	平装
页数		印数

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书籍信息归属:

集束型晶圆制造装备调度及其优化算法是电子工业出版社于2017.4出版的中图分类号为 TN305 的主题关于半导体工艺设备－调度 ,半导体工艺设备－最优化算法的书籍。