书籍简介:

本书系统地论述了微机电系统中射频元器件的物理模型、等效电路、性能表征和实验结果，并详细论述了射频微机电系统元器件结构设计和制备方法。本书聚集在射频微机电系统元器件的设计、加工和测试，创新内容较多。本书可作为相关领域本科生、研究生和教师的教学参考书，并可供相关的科技人员参考。

书籍规格:

书籍详细信息
书名	射频微机电系统的理论、设计、制备及应用站内查询相似图书
丛书名	纳米制造的基础研究学术著作丛书
	9787030389961 如需购买下载《射频微机电系统的理论、设计、制备及应用》pdf扫描版电子书或查询更多相关信息，请直接复制isbn,搜索即可全网搜索该ISBN
出版地	北京	出版单位	科学出版社
版次	1版	印次	1
定价(元)	80.0	语种	简体中文
尺寸	24 × 17	装帧	精装
页数	360	印数

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射频微机电系统的理论、设计、制备及应用是科学出版社于2013.11出版的中图分类号为 TN4 的主题关于微电子技术－射频系统－研究的书籍。