射频微机电系统的理论、设计、制备及应用
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射频微机电系统的理论、设计、制备及应用

张海霞, 缪旻, 方东明, 著

出版社:科学出版社

年代:2013

定价:80.0

书籍简介:

本书系统地论述了微机电系统中射频元器件的物理模型、等效电路、性能表征和实验结果,并详细论述了射频微机电系统元器件结构设计和制备方法。本书聚集在射频微机电系统元器件的设计、加工和测试,创新内容较多。本书可作为相关领域本科生、研究生和教师的教学参考书,并可供相关的科技人员参考。

书籍规格:

书籍详细信息
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丛书名纳米制造的基础研究学术著作丛书
9787030389961
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出版地北京出版单位科学出版社
版次1版印次1
定价(元)80.0语种简体中文
尺寸24 × 17装帧精装
页数 360 印数

书籍信息归属:

射频微机电系统的理论、设计、制备及应用是科学出版社于2013.11出版的中图分类号为 TN4 的主题关于 微电子技术-射频系统-研究 的书籍。