硅材料检测技术

书籍简介:

本书主要讲述了多晶硅生产过程中所涉及到的一系列相关检测活动及基本要求介绍。内容包括多晶硅检测实验室基本要求、相关分析检测设备介绍、原辅材料检测、中间控制检测、生产环境监测、多晶硅生产常规电学参数检测、多晶硅中杂质含量检测、生产分析废弃物处置等核心内容。同时对实验室用超纯水的制备，实验室用气的制备和净化作了简单介绍，列举了实际检测过程中涉及到的相关检测设备，详细介绍了设备理论方面的基础知识，还给出了大量应用实例，本书紧密结合生产实践需求，注重了理论与实践的有机结合。

书籍规格:

书籍信息归属:

硅材料检测技术是黄河水利出版社于2019.7出版的中图分类号为 TN304.1 的主题关于 硅－半导体材料－检测 的书籍。