书籍简介:

本书是非微电子专业的高年级本科生和研究生用书，介绍微机电系统（MEMS）设计与制造，包括集成电路（IC）基本制造技术、微传感器、微执行器、MEMS的应用及检测技术设计等。

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	9787118041217 《微机电系统设计与制造》pdf扫描版电子书已有网友提供资源下载链接,请点击下方按钮查看
出版地	北京	出版单位	国防工业出版社
版次	1版	印次	1
定价(元)	45.0	语种	简体中文
尺寸	26	装帧	平装
页数	300	印数

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微机电系统设计与制造是国防工业出版社于2005.09出版的中图分类号为 TM38 ,TH-39 的主题关于微电机－高等学校－教材的书籍。