微机电系统设计与制造

书籍简介:

本书是非微电子专业的高年级本科生和研究生用书，介绍微机电系统（MEMS）设计与制造，包括集成电路（IC）基本制造技术、微传感器、微执行器、MEMS的应用及检测技术设计等。

书籍规格:

书籍信息归属:

微机电系统设计与制造是国防工业出版社于2005.09出版的中图分类号为 TM38 ,TH-39 的主题关于 微电机－高等学校－教材 的书籍。