薄膜物理与技术

书籍简介:

本书主要论述薄膜的制造技术与薄膜物理的基础内容。书中系统介绍了各种成膜技术的基本原理与方法，包括蒸发镀膜、溅射镀膜、离子镀、化学气相沉积、溶液制膜技术以及膜厚的测量与监控等。

书籍规格:

书籍信息归属:

薄膜物理与技术是电子科技大学出版社于1994.01出版的中图分类号为 TB43 ,O484 的主题关于 薄膜技术 ,薄膜－表面物理学 的书籍。