微机电系统原理

第1章 引言

1.1 微机电系统

1.2 耦合系统

1.3 所需知识

1.4 量纲分析

习题

第2章 微制造

2.1 体微加工和表面微加工

2.2 光刻

2.3 层沉积工艺

2.4 刻蚀法

2.5 制造工艺设计

习题

第3章 静力学

3.1 静力平衡

3.2 压-张关系

3.3 热应力

3.4 扭转力矩作用下梁的性能

3.5 力矩-曲率之间的关系

3.6 梁方程

3.7 加勒金法

3.8 能量法

3.9 梁问题的能量方法

习题

第4章 微结构的静力性能

4.1 微结构的元件

4.2 通用梁的刚度

4.3 杆系

4.4 刚度变换

4.5 平面结构的静力性能

4.6 残余应力

4.7 结构的立方力

4.8 势能

4.9 势能间的相似性

习题

第5章 动力学

5.1 三次方程

5.2 运动的描述

5.3 动态支配方程

5.4 势能和动能之间的能量转换

5.5 无阻尼自由振动系统

5.6 阻尼系统的振动

5.7 多自由度系统

5.8 连续系统

5.9 有效质量、阻尼和刚度

5.10 具有重复结构的系统

5.11 达芬方程

习题

第6章 流体动力学

6.1 黏性流

6.2 连续方程

6.3 纳维-斯托克斯方程

6.4 雷诺方程

6.5 库埃特流动

6.6 流体中的振动板

6.7 蠕动流

6.8 挤压膜

习题

第7章 电磁学

7.1 电路的基本元件

7.2 基尔霍夫电流定律

7.3 静电学

7.4 由电场产生的力和力矩

7.5 作用于各种物体的静电力和力矩

7.6 电磁力

7.7 作用在电场和磁场中运动电荷上的力

7.8 压阻

7.9 压电性

习题

第8章 压电和热力驱动器

8.1 组合梁

8.2 压电驱动器

8.3 热力驱动器

习题

第9章 静电驱动器和电磁驱动器

9.1 电磁驱动器

9.2 梳驱动的驱动器

9.3 平行板驱动器

9.4 扭转驱动器

9.5 两端固定梁驱动器

9.6 悬梁驱动器

9.7 间隙接近驱动器的动态响应

9.8 间隙接近驱动器的近似

9.9 电磁驱动器

习题

第10章 传感器

10.1 力和压力传感器

10.2 加速度计

10.3 静电加速度计

10.4 振动陀螺仪

10.5 其他结构

习题

附录

参考文献

微机电系统（MEMS）技术研究主要针对微小系统 ，它在汽车、无线电话、数码相机 以及医疗设备等方面都有着广泛的应用。李基邦编著 的这本《微机电系统原理》通过作者研究以及参考其 他有价值的文献， 针对MEMS提出了统一法和封闭形式解方法，便于读者 更好地理解MEMS中的线性和非线 性问题，以及开展相关应用设计。
全书共分九章，第一章为绪论部分，介绍了微机 电系统的量纲分析法。第二章介绍了 微制造技术。第三章为微机电系统在静力平衡条件下 的静力学分析。第四章为微结构的静 力性能分析。第五章为微机电系统动力学分析。第六 章为微机电系统流体力学分析。第七 章介绍MEMS设计中涉及的基于电磁学的基本方程。第 八章和第九章介绍如何通过MEMS 组件的组合设计具有特定功能的驱动器或传感器。