半导体微纳制造技术及器件

书籍简介:

本书基于课题组的研究成果和研究方向，对目前主流采用的半导体微纳制造技术进行了归纳，结合已得到验证的理论进行部分机理的论述，结合最新发展的半导体微纳光电器件阐述了半导体微纳器件的应用及发展趋势:本书对半导体微纳器件的制造技术苁图形化衬底技术、外延生长技术和刻蚀技术三方面进行系统的概述，并从器件的电子注入机理及等离子体局域增强效应进行机理论述，最后结合新型的半导体器件进行剖析。全书分为三大部分，第一部分主要概述半导体微纳制造技术;第二部分主要论述半导体微纳器件的电子注入及等离子体局域增强机理;第三部分主要结合新型半导体器件归纳半导体微纳器件的功能及发展。

书籍规格:

书籍信息归属:

半导体微纳制造技术及器件是科学出版社于2020.9出版的中图分类号为 TN301 的主题关于 半导体电子学－微电子技术 的书籍。