实用真空检漏技术

第1章　检漏的一般概念 　1 1检漏技术的地位和应用　1 2检漏技术的主要术语　1 3压力与漏率关系　　1 3 1动态真空　　1 3 2静态真空　1 4检漏的任务　　1 4 1真空抽不好的原因　　1 4 2不能保持压力的原因　　1 4 3检漏的任务　1 5漏孔及其表示　　1 5 1焊缝及原材料的缺欠　　1 5 2常见漏孔的形式　　1 5 3漏孔出现位置及产生原因　　1 5 4漏孔大小的表示方法　　1 5 5影响漏孔漏率的因素　　1 5 6漏率的单位　　1 5 7漏孔对真空的影响　1 6装置漏气的判定　　1 6 1真空装置漏气的判定　　1 6 2加压装置漏气的判定　　1 6 3检漏仪及其他方法　1 7装置容许最大漏率估算　　1 7 1动态真空装置容许最大漏率　　1 7 2静态真空装置容许最大漏率　　1 7 3加压装置容许最大漏率　　1 7 4实际存在漏孔漏率分布　1 8灵敏度与最小可检漏率　　1 8 1灵敏度　　1 8 2最小可检漏率　　1 8 3有效最小可检漏率　1 9对检漏的一般要求　1 10检漏方法的分类　　1 10 1加压 漏法　　1 10 2抽真空检漏法　　1 10 3其他方法　1 11检漏方法、仪器和示漏物质选择原则　1 12国产氦质谱检漏仪现状第2章　检漏的真空基础 　2 1真空概念和测量单位　　2 1 1真空概念　　2 1 2真空度　　2 1 3真空区域划分　2 2理想气体基本定律及状态方程　　2 2 1理想气体　　2 2 2波义耳定律　　2 2 3盖·吕萨克定律　　2 2 4查理定律　　2 2 5阿伏伽德罗定律　　2 2 6理想气体状态方程　　2 2 7道尔顿定律（分压力定律）　2 3气体分子的平均自由程　　2 3 1平均自由程　　2 3 2单一气体分子的平均自由程　2 4气体流量和管道流导　　2 4 1气体量　　2 4 2流量　　2 4 3流导　　2　4 4管道串联的流导　　2 4 5管道并联的流导　2 5气体的流动状态　　2 5 1真空管道中的气体流动　　2 5 2漏孔中的气体流动　2 6真空泵　　2 6 1油封式旋转机械真空泵　　2 6 2油扩散泵　　2 6 3涡轮分子泵　2 7真空计　　2 7 1静态变形真空计　　2 7 2电阻真空计　　2 7 3热偶真空计　　2 7 4热阴极电离真空计　　2 7 5冷阴极磁控放电真空计（潘宁真空计）　　2 7 6分压力真空计第3章　常用的检漏方法 第4章　标准漏孔及其校准 第5章　氦质谱检漏仪法 第6章　四极质谱计检漏法 第7章　检漏实践和检漏安全 参考文献 编后语

本书是作者在几十年的真空检漏技术工程经验以及培训教学基础上,结合近几年出现的新技术、新成果综合编写成的。内容丰富、技术先进。 全书共分7章，其中包括：检漏的一般概念、检漏的真空基础、常用的检漏方法、标准漏孔及其校准等。重点介绍了氦质谱检漏仪法和四极质谱计检漏法，并给出了应用实例。 本书主要为广大真空检漏技术人员提供服务，亦可作为真空检漏培训班教材使用，并为大专院校师生提供重要参考。