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本书介绍了微系统技术领域内的相关知识和基本工艺方法，如单品硅生产、光削技术、封装技术等。

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	9787502546922 《微系统技术》pdf扫描版电子书已有网友提供资源下载链接,请点击下方按钮查看
出版地	北京	出版单位	化学工业出版社
版次	1版	印次	1
定价(元)		语种	简体中文
尺寸	20	装帧	平装
页数		印数	4000

微系统技术是化学工业出版社于2003.07出版的中图分类号为 TN4 的主题关于微电子技术的书籍。