薄膜微带电路工艺技术

书籍简介:

薄膜微带电路是卫星电子设备、机载电子设备、移动终端、通信基站、测试仪器等所必需的重要组成部分。本书系统介绍了薄膜微带电路的制作流程、关键制成工艺、常见质量问题及解决方法等，是编者多年从事薄膜微带电路制作、测试和试验所积累经验的汇总。本书共12章，主要内容包括绪论、真空技术、常见基板表面成膜方法、薄膜电路基材、常用薄膜材料、光刻、电镀金、薄膜电阻、外形加工、薄膜工艺中的其他重点技术、薄膜电路常见质量问题及注意事项、薄膜微带电路质量检验方法。本书可供从事薄膜电路工艺、薄膜电子材料、薄膜电路设计等领域的科技人员，以及高等院校相关专业的师生学习参考。

书籍规格:

书籍信息归属:

薄膜微带电路工艺技术是西安电子科技大学出版社于2020.9出版的中图分类号为 TN45 的主题关于 微波集成电路 ,薄膜集成电路 的书籍。