真空技术

绪论0.1 真空的特点及真空技术的基本内容0.2 真空度的单位及真空区域的划分0.3 真空技术的发展历史及其在科学研究和生产中的作用第1章 气体分子在空间的行为1.1 气体分子的基本特性1.1.1 气体基本定律1.1.2 气体分子运动论1.1.3 气体的压强1.1.4 气体分子的速率分布1.1.5 平均自由程1.1.6 自由程长度分布律1.1.7 气体分子的有效直径和碰撞截面1.1.8 电子碰撞分子引起的电离1.2 碰撞频度与余弦定律1.2.1 碰撞频度1.2.2 余弦定律1.3 气体中的输运现象1.3.1 常压气体中的输运现象1.3.2 低压气体中的输运现象1.4 热流逸现象1.4.1 稳定非平衡状态下的气体参数1.4.2 热流逸现象1.5 气体在管道中的流动1.5.1 气流状态流量1.5.2 气体在管道中的黏滞性流动1.5.3 气体在管道中的分子性流动1.5.4 气体通过孔眼的流动1.6 流导传输几率1.6.1 流导1.6.2 长圆管的流导1.6.3 孔眼的流导1.6.4 短圆管的流导1.6.5 传输几率习题第2章 固体一气体界面现象2.1 气体分子在固体表面的吸附2.1.1 固体表面对气体分子的作用力2.1.2 物理吸附2.1.3 化学吸附2.2 吸附过程动力学2.2.1 吸附几率和吸附速率2.2.2 吸附时间2.3 表面脱附2.3.1 热脱附2.3.2 电子诱导脱附2.3.3 其他类型的脱附2.4 平衡吸附量2.4.1 平衡吸附方程2.4.2 物理吸附等温线2.4.3 化学吸附等温线2.4.4 混合气体的吸附2.5 吸附分子在固体表面的迁移2.6 气体在固体中的溶解、扩散和渗透2.6.1 溶解2.6.2 扩散和渗透2.7 材料的放气率2.8 材料的蒸气压、蒸发率及化合物的分解压强2.8.1 材料的蒸气压2.8.2 蒸发率2.8.3 化合物的分解压强习题第3章 真空获得3.1 概述3.1.1 真空泵的分类3.1.2 真空泵的基本参数3.2 机械真空泵3.2.1 旋片式机械真空泵3.2.2 旋片式机械真空泵的特性和运用3.2.3 无油机械真空泵3.3 油扩散泵3.3.1 扩散泵的原理和结构3.3.2 扩散泵的工作特性3.3.3 扩散泵的运用3.4 低温吸附泵3.4.1 分子筛的特性3.4.2 低温吸附泵的原理和结构3.4.3 低温吸附泵的特性和运用3.5 钛升华泵3.5.1 钛升华泵的原理和结构3.5.2 钛升华泵的特性与运用3.6 溅射离子泵3.6.1 溅射离子泵的原理和结构3.6.2 溅射离子泵的工作特性3.6.3 溅射离子泵的运用3.7 涡轮分子泵3.7.1 涡轮分子泵的原理和结构3.7.2 涡轮分子泵的工作特性3.7.3 涡轮分子泵的运用3.8 低温冷凝泵3.8.1 低温冷凝泵的原理和结构3.8.2 低温冷凝泵的工作特性3.9 真空泵的选择习题第4章 真空的总压强测量4.1 概述4.2 绝对真空计4.2.1 弹性变形真空计4.2.2 电容薄膜真空计4.2.3 U形真空计与压缩真空计4.2.4 压敏电阻真空计4.3 相对真空计4.3.1 热传导真空计4.3.2 电离真空计4.4 真空测量技术4.4.1 真空计的选择及运用4.4.2 真空计的校准习题第5章 真空的分压强测量5.1 质谱仪的结构和参数5.2 磁偏转质谱仪5.3 四极场质谱仪5.4 识谱技术5.5 质谱分析技术的应用习题第6章 真空检漏6.1 概述6.1.1 真空检漏的意义6.1.2 真空系统是否有漏孔的判断6.1.3 漏孔的定义6.1.4 容许漏率6.2 真空检漏的原理6.2.1 压强差的利用6.2.2 示漏气体与探测器6.2.3 检漏的响应过程6.2.4 检漏方法的性能指标6.3 高压检漏法6.4 真空检漏法6.4.1 高频火花检漏法6.4.2 真空计检漏法6.5 氦质谱检漏法6.5.1 氦质谱检漏仪的原理6.5.2 氦质谱检漏仪的主要参数6.5.3 氦质谱检漏技术6.6 真空检漏技术习题第7章 真空系统7.1 概述7.2 真空系统的材料7.2.1 结构材料7.2.2 辅助结构材料7.2.3 真空密封材料7.3 真空阀门7.4 真空系统的制造和组装技术7.4.1 不可拆连接7.4.2 可拆卸连接7.5 典型真空系统7.5.1 低真空系统7.5.2 高真空系统7.5.3 超高真空系统7.6 真空系统的计算7.6.1 真空系统的抽气方程7.6.2 主泵和前级泵的配合7.6.3 真空系统中压强的分布7.6.4 真空系统的真空度和抽气时间的估算习题参考文献

《真空技术（光电科学与工程专业规划教材）》共分7章，介绍了气体分子在空间的行为、固体-气体界面现象等真空物理基本理论，以及真空的获得、真空的总压强测量、分压强测量、真空检漏和真空系统设计等真空技术内容。　　《真空技术/光电科学与工程专业规划教材》可作为大专院校相关专业的教材及参考书，也可供从事真空技术研究、应用的工程技术人员参考。