微制造与纳米技术

书籍简介:

本书主要介绍了微机电系统（MEMS）、微光机电系统（MOEMS）、激光技术在微制造中的应用、平版印刷术、体和表面微加工、纳米修整、误差补偿、碳纳米管、微能源化学系统、燃料电池、空间推进微结构、生物传感器等内容。书中用大量的数据、公式、图表和应用实例阐述了微制造与纳米技术的概念、理论、原理、设计思路、工艺、方法以及应用和前景等。

书籍规格:

书籍信息归属:

微制造与纳米技术是机械工业出版社于2015.6出版的中图分类号为 TB303 的主题关于 纳米技术－研究 的书籍。