微纳米加工技术及其应用
微纳米加工技术及其应用封面图

微纳米加工技术及其应用

崔铮, 著

出版社:高等教育出版社

年代:2009

定价:10.7

书籍简介:

本书集作者多年来的实践经验与研究成果,并结合近年来国际上的最新发展,综合介绍了微纳米加工技术的基础,包括光学曝光技术、电子束曝光技术、聚焦离子束加工技术、扫描探针加工技术、微纳米尺度的复制技术、各种沉积法与刻蚀法图形转移技术、间接纳米加工技术与自组装纳米加工技术。对各种加工技术的介绍着重讲清原理,列举基本的工艺步骤,说明各种工艺条件的由来,并注意给出典型的工艺参数;充分分析了各种技术的优缺点及在应用过程中的注意事项;以大量图表与实例说明各种加工方法,避免烦琐的数学分析;并以专门一章介绍了微纳米加工技术在现代高新技术领域的应用,演示了如何灵活应用微纳米加工技术来推动这些领域的技术进步。

书籍目录:

第1章绪论

第2章光学曝光技术

第3章电子束曝光技术

第4章聚焦离子束加工技术

第5章扫描探针加工技术

第6章复制技术

第7章沉积法图形转移技术

第8章刻蚀法图形转移技术

第9章简介纳米加工技术

第10章自组装纳米加工技术

第11章微纳米加工技术的应用

索引

结束语

内容摘要:

  本书是在第一版的基础上修订而成的。本书集作者多年来的实践经验与研究成果,并结合近年来国际上的最新发展,综合介绍了微纳米加工技术的基础,包括光学曝光技术、电子柬曝光技术、聚焦离子束加工技术、扫描探针加工技术、等。对各种加工技术的介绍着重讲清原理,列举基本的工艺步骤,说明各种工艺条件的由来,并注意给出典型的工艺参数;充分分析了各种技术的优缺点及在应用过程中的注意事项。本书内容丰富,讲解深入浅出,具有很强的可读性和实用性。  本书集作者多年来的实践经验与研究成果,并结合近年来国际上的最新发展,综合介绍了微纳米加工技术的基础,包括光学曝光技术、电子柬曝光技术、聚焦离子束加工技术、扫描探针加工技术、微纳米尺度的复制技术、各种沉积法与刻蚀法图形转移技术、间接纳米加工技术与自组装纳米加工技术。对各种加工技术的介绍着重讲清原理,列举基本的工艺步骤,说明各种工艺条件的由来,并注意给出典型的工艺参数;充分分析了各种技术的优缺点及在应用过程中的注意事项;以大量图表与实例说明各种加工方法,避免烦琐的数学分析;并以专门一章介绍了微纳米加工技术在现代高新技术领域的应用,演示了如何灵活应用微纳米加工技术来推动这些领域的技术进步。  与国内外同类出版物相比,本书的显著特点是将用于超大规模集成电路生产、微机电系统制造与纳米技术研究的微纳米加工技术进行综合介绍,并加以比较;首次将微纳米加工归纳为平面工艺、探针工艺和模型工艺3种主要类型,突出了微纳米加工与传统加工技术的不同之处。全书既注重基础知识又兼顾微纳米加工领域近年来的最新进展,并列举了大量参考文献与互联网链接网址,供读者进一步发掘详细信息与深人研究,因此不论是对初次涉足这一领域的大专院校的本科生或研究生,还是对已经有一定工作经验的专业科技人员,都具有很好的参考价值。【作者简介】  东南大学(原南京工学院)本科毕业(1981),并获该校硕士(1984)和博士(1988)学位。11989年受英国国家科学与工程研究委员会访问研究基金资助(SERCVisitingFellowship),到英国剑桥大学微电子研究中心做博士后研究。1993年到英国卢瑟福国家实验室微结构中心做高级研究员,1999年以来任微纳米技术首席科学家(PrincipalScientist),曾任微系统技术中心负责人,现负责微纳米技术的工程应用(GroupLeader)。十多年来先后参加了8项欧洲共同体联合研究项目,并担任其中两个项目的主持人。任欧洲微机电/微光机电设计、测试、集成与封装年会的程序委员会委员,国际微纳光刻、微机电与微光机电系统杂志(JournalofMicro/Nanolithography,MEMSandMOEMS)编委,欧洲第七框架研究计划纳米技术分计划的评审专家,英国国家科研项目评审专家,并应邀为多种学术杂志评审论文;英国物理学会会员,英国工程技术学会(IET)资深会员(Fellow)。1994年以来开始与国内开展合作,先后受聘为国内多家科研单位与大学的客座研究员、客座教授。先后4次受王宽诚科研奖金资助回国进行合作研究与讲学。2001年以来,先后主持了两项由英国皇家学会资助的中一英联合研究项目。2002年受聘为中国科学院海外评审专家。2004年获中国科学院海外杰出学者(B类)基金。2007年参加中国科学院物理研究所纳米电子材料与器件海外合作团队。先后独立与合作发表学术论文190余篇。2005年出版中文专著《微纳米加工技术及其应用》(高等教育出版社),2006年出版该书的英文版《Micro-NanofabricationTechnologiesandApplications》,2008年出版英文专著《Nanofabrication:Principles,CapabilitiesandLimits》(Springer)。

书籍规格:

书籍详细信息
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9787040263589
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出版地北京出版单位高等教育出版社
版次2版印次1
定价(元)10.7语种简体中文
尺寸24装帧精装
页数印数 2500

书籍信息归属:

微纳米加工技术及其应用是高等教育出版社于2009.04出版的中图分类号为 TB383 的主题关于 纳米材料-新技术应用 的书籍。