书籍简介:

该书共分9个章节。其中6个章节（包括引言）用于讲述MEMS相关技术的理论基础。第一章讲述了惯性MEMS中最重要的传感器-加速度计和陀螺仪的相关背景知识；第二章讲述了诸如弹性力和阻尼力等非惯性力的理论知识，这些在设计惯性MEMS传感器时非常重要；第三、四章描述了主要MEMS工艺的制作技术；第五章讲述MEMS封装技术；第六章讲述MEMS接口电路技术。前六章内容不仅适合惯性MEMS行业的技术人员，而且对其他想对MEMS有总体了解的人员也有很大的吸引力。第七、八章为核心内容，讲述惯性MEMS传感器-加速度计和陀螺仪。这里重点讲述基本理论、动态特性分析及数学模型建立的方法，并系统讲述了惯性MEMS传感器的不同设计方法和结构方案，以及各自的优缺点。最后，对测试和校准用独立的章节进行了简要介绍。

书籍规格:

书籍详细信息
书名	惯性MEMS器件原理与实践站内查询相似图书
	9787118108873 如需购买下载《惯性MEMS器件原理与实践》pdf扫描版电子书或查询更多相关信息，请直接复制isbn,搜索即可全网搜索该ISBN
出版地	北京	出版单位	国防工业出版社
版次	1版	印次	1
定价(元)	128.0	语种	简体中文
尺寸	24 × 17	装帧	平装
页数		印数

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书籍信息归属:

惯性MEMS器件原理与实践是国防工业出版社于2016.5出版的中图分类号为 TP212 的主题关于微电子技术－传感器的书籍。