碳化硅单晶的生长

书籍简介:

碳化硅（SiC）是第三代半导体材料的一员，其优良的物理和化学性质使其在白光照明、汽车电子化、雷达通讯、石油钻井、航空航天、核反应堆系统及军事装备等领域有着广泛的应用，因此，生长具有半绝缘性质的SiC单晶显得尤为重要。本专著详细论述了通过深能级杂质补偿生长半绝缘6H—SiC单晶的方法并对单晶性质进行了表征。

书籍规格:

书籍信息归属:

碳化硅单晶的生长是西安交通大学出版社于2017.9出版的中图分类号为 TN304.053 的主题关于 半导体材料－单晶拉制 的书籍。