书籍简介:

本书介绍了微细加工技术的基础知识、光学曝光技术、光学分辨率增强技术等以及其他纳米加工技术。

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书名	微细加工技术站内查询相似图书
丛书名	现代加工技术丛书
	9787502560775 如需购买下载《微细加工技术》pdf扫描版电子书或查询更多相关信息，请直接复制isbn,搜索即可全网搜索该ISBN
出版地	北京	出版单位	化学工业出版社
版次	1版	印次	1
定价(元)		语种	简体中文
尺寸	26	装帧	平装
页数		印数	5000

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微细加工技术是化学工业出版社于2004.08出版的中图分类号为 TG66 的主题关于特种加工－技术的书籍。