集成电路与光刻机

书籍简介:

光刻机是集成电路制造的核心装备，直接决定了集成电路的微细化水平。本书介绍了集成电路与光刻机的发展历程。重点介绍了光刻机整机、分系统与曝光光源的主要功能、基本结构、工作原理、关键技术等。简要介绍了计算光刻技术。最后介绍了光刻机成像质量的提升与光刻机整机、分系统的技术进步。本书可供光刻机相关领域的科研与工程技术人员，以及关注集成电路与光刻机的社会各界人士阅读。也可供相关研究方向的学生阅读，也适合对光刻机感兴趣的大众阅读参考。

书籍规格:

书籍信息归属:

集成电路与光刻机是科学出版社于2020.8出版的中图分类号为 TN4 ,TN305.7 的主题关于 集成电路 ,光刻设备 的书籍。