书籍简介:

本书全面论述了微机电系统（MEMS）的基础知识，涵盖了MEMS技术的主要方面，同时引用了经典的MEMS研究论文和前沿的研究论文，为学生深入学习MEMS技术提供了指引。书中提炼出了四个典型的传感器实例：惯性传感器、压力传感器、流量传感器和触觉传感器，并介绍了利用不同原理、材料和工艺制造这些传感器的方法，既便于比较，又可以启发学生的创新意识并提高创新能力。

书籍规格:

书籍详细信息
书名	微机电系统基础站内查询相似图书
丛书名	电子与电气工程丛书
	9787111406570 如需购买下载《微机电系统基础》pdf扫描版电子书或查询更多相关信息，请直接复制isbn,搜索即可全网搜索该ISBN
出版地	北京	出版单位	机械工业出版社
版次	1版	印次	1
定价(元)	69.0	语种	简体中文
尺寸	26 × 19	装帧	平装
页数	562	印数	4000

全网搜索试读资源

书籍信息归属:

微机电系统基础是机械工业出版社于2013.1出版的中图分类号为 TM38 的主题关于微电机的书籍。