书籍简介:

本书主要研究基于MEMS技术与CMOS工艺制作以纳米硅/单晶硅异质结为源极（S）和漏极（D）的MOSFET压/磁多功能传感器，在同一芯片上采用同一敏感器件完成对压、磁信号的同时检测，从基本结构设计、工作原理、特性分析等方面进行论述，研究不同条件对传感器特性的影响，实现压力、磁传感器的集成一体化研究。

书籍规格:

书籍详细信息
书名	纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs压/磁多功能传感器研究站内查询相似图书
丛书名	黑龙江大学学术文库
	9787811291261 《纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs压/磁多功能传感器研究》pdf扫描版电子书已有网友提供资源下载链接,请点击下方按钮查看
出版地	哈尔滨	出版单位	黑龙江大学出版社
版次	1版	印次	1
定价(元)	28.0	语种	简体中文
尺寸	20	装帧	平装
页数		印数

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书籍信息归属:

纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs压/磁多功能传感器研究是黑龙江大学出版社于2009.07出版的中图分类号为 TP212 的主题关于压力传感器－研究 ,磁性传感器－研究的书籍。