直拉单晶硅工艺技术

书籍简介:

本书包括单晶硅的基本知识、直拉单晶炉、直拉单晶炉的热系统及热场、晶体生长控制器、参杂技术等内容。

书籍规格:

书籍信息归属:

直拉单晶硅工艺技术是化学工业出版社于2009.07出版的中图分类号为 TN304.053 的主题关于 半导体材料－单晶拉制－生产工艺－教材 的书籍。