书籍简介:

微机电系统（MEMS）技术是一个快速发展的前沿技术领域，使用的材料种类多、工艺方法复杂，需要系统地归纳、分析与整理，以便于读者查阅。本书内容包括MEMS材料，MEMS加工工艺和制造工艺，MEMS工艺集成方法以及工业届已经采用的工艺制造流程案例。本手册适合相关专业高年级本科生、研究生及工程科研技术人员阅读和参考。

内容摘要:

微机电系统（MEMS）技术是一个快速发展的前沿技术领域, 使用的材料种类多、工艺方法复杂, 需要系统地归纳、分析与整理, 以便于读者查阅。本手册是大型专业工具书, 以查阅为主。本书内容包括MEMS材料, MEMS加工工艺和制造工艺, MEMS工艺集成方法以及工业届已经采用的工艺制造流程案例。

书籍规格:

书籍详细信息
书名	MEMS材料与工艺手册站内查询相似图书
	9787564140533 如需购买下载《MEMS材料与工艺手册》pdf扫描版电子书或查询更多相关信息，请直接复制isbn,搜索即可全网搜索该ISBN
出版地	南京	出版单位	东南大学出版社
版次	1版	印次	1
定价(元)	198.0	语种	简体中文
尺寸	24 × 17	装帧	平装
页数		印数

全网搜索试读资源

书籍信息归属:

MEMS材料与工艺手册是东南大学出版社于2014.3出版的中图分类号为 TN4-62 的主题关于微电子技术－电子材料－手册 ,微电子技术－生产工艺－手册的书籍。