书籍简介:

本书针对高功率脉冲磁控溅射技术（HIPIMS）存在的电子利用效率差和沉积速率低的问题，提出了一种电-磁场协同增强高功率脉冲磁控放电的高效、高离化率、高沉积速率新技术。利用辅助阳极来调控真空室内电场/电势分布；磁场增强HIPIMS放电等离子体特性研究；电-磁场协同增强HIPIMS放电等离子体特性研究以及电-磁场协同增强HIPIMS制备钒膜的结构及性能研究等。

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书籍详细信息
书名	电磁场协同增强高功率脉冲磁控放电及沉积特性站内查询相似图书
	9787567418233 如需购买下载《电磁场协同增强高功率脉冲磁控放电及沉积特性》pdf扫描版电子书或查询更多相关信息，请直接复制isbn,搜索即可全网搜索该ISBN
出版地	哈尔滨	出版单位	东北林业大学出版社
版次	1版	印次	1
定价(元)	30.0	语种	简体中文
尺寸	23 × 17	装帧	平装
页数		印数

书籍信息归属:

电磁场协同增强高功率脉冲磁控放电及沉积特性是东北林业大学出版社于2019.6出版的中图分类号为 O461.2 的主题关于电磁场－协同－电磁脉冲－脉冲放电－研究的书籍。