先进干涉检测技术与应用

书籍简介:

先进干涉检测技术是将经典的干涉系统与当前各种新颖的光电子器件及机电系统、高速发展的计算机技术紧密结合，从而实现目标信息多参数三维空间高精度检测的综合性技术。其在国防及国民经济、微电子、材料及生物医学各领域都有着广泛的应用。本书系统地论述了先进干涉检测技术所涉及的各方面光学原理及其应用。主要内容包括：干涉检测相关光学原理、常用干涉仪、共路干涉仪、剪切干涉仪、点衍射干涉仪、位相调制技术、非球面检测技术、干涉光谱技术、干涉图处理技术等。本书可作为光电信息科学与工程相关专业本科及研究生的专业课教材，也可作为光学精密仪器及光机电一体化相关科研工作者的参考书。

书籍规格:

书籍信息归属:

先进干涉检测技术与应用是浙江大学出版社于2017.9出版的中图分类号为 TH744.3 的主题关于 光学干涉仪－检测 的书籍。