微纳加工中的精密工件台技术

书籍简介:

本书重点讲述微纳加工关键部件——精密工件台的结构、原理和主要技术，以及通过精密工件台提高加工精度和生产效率的有效方法。书中对精密测量技术、驱动技术、直线导向技术、微位移技术、精密工件台控制系统、精度分析，以及它在光刻机、电子束曝光机、生物技术、精密测量、纳米表面形貌测量等方面的应用，都有翔实的介绍。在当前微纳加工技术迅猛发展和相关技术书籍十分匮乏的情况下，本书出版的积极作用是不言而喻的。

书籍规格:

书籍信息归属:

微纳加工中的精密工件台技术是北京工业大学出版社于2004.12出版的中图分类号为 TN470.598 的主题关于 超大规模集成电路－集成电路工艺－电子束光刻－设备 的书籍。