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本书介绍了硅单晶制备，外延，氧化等知识。

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书名	集成电路制造工艺站内查询相似图书
丛书名	21世纪高职高专系列教材
	9787111173007 《集成电路制造工艺》pdf扫描版电子书已有网友提供资源下载链接,请点击下方按钮查看
出版地	北京	出版单位	机械工业出版社
版次	1版	印次	1
定价(元)	27.0	语种	简体中文
尺寸	26	装帧	平装
页数	308	印数	5000

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集成电路制造工艺是机械工业出版社于2005.09出版的中图分类号为 TN405 的主题关于集成电路工艺－高等学校：技术学校－教材的书籍。