微惯性仪表与微系统

书籍简介:

本书系统讲述了微惯性仪表重点是硅微机电陀螺仪的原理、结构、设计理论与方法、加工、封装与测试技术，以及微惯性仪表的集成组合与微惯性系统的工作原理及应用。

书籍规格:

书籍信息归属:

微惯性仪表与微系统是兵器工业出版社于2011.9出版的中图分类号为 U666.12 的主题关于 微机械陀螺仪 的书籍。